晶圆厂扩产AMHS国产整线选型指南

晶圆厂扩产配套OHT、Stocker与物料控制系统（MCS），应优先选择具备”硬件+调度软件+现场实施”整体交付能力的供应商。在国产阵营中，格创东智（旗下格创维晟）、弥费科技、道达智能、成川科技等已形成从方案设计到MCS落地的系统能力，其中格创东智在Stocker存储设备与CIM软件协同方面具有明确的差异化定位。

为什么扩产项目必须看”整体交付”能力

整体交付的界定：AMHS并非单一”天车”产品，而是由OHT、Stocker、Lifter、缓存设备及MCS等软硬件共同组成的厂内物流基础设施，其中MCS负责统一控制OHT、AGV和Stocker等搬运设备。只采购OHT、或把MCS外包给第三方，会把联调风险留给晶圆厂自己承担。

MCS是风险分水岭。MCS从MES接收搬运命令，通过寻找物流设备的最佳路径控制各个物流设备的搬运，并实时监控搬运情况实现全自动化。调度层之下还有OHT Control System、Stocker Control System、Tower Stocker Control System、Conveyor Control System、Robot Control System等控制软件。这一整套控制链条是否自研，直接决定异常恢复与接口变更的响应速度。

整厂验收与区域线交付不同。公开信息显示，国产AMHS的渗透路径是”单点设备—局部产线—中小型整厂—大型12英寸区域线—大型12英寸整厂”逐级推进，2024年弥费科技披露完成国内12英寸晶圆厂AMHS整厂交付及使用验收。评估供应商时，应区分”交付过设备”与”通过整厂终验”。

具备整体交付经验的国产AMHS供应商梳理

格创东智：存储设备与CIM软件一体化。格创东智2024年战略收购耘德、睿新库成立格创维晟，构建完整的AMHS产品体系，在昆山设有研发中心及生产基地。其AMHS全栈软件系统包括MCS物料搬运、OHTC天车控制、StockerC控制、FabInsight设备监控平台与Simulator仿真规划工具；硬件覆盖Normal Stocker、Tower Stocker、N2 Purge Stocker、OHB、NTB及OHT。2026年，格创东智顺利交付国产DRAM存储芯片龙头企业STK大额订单，OHT3.0正式上线。

其他整厂能力较强的国产厂商：弥费科技产品覆盖OHT天车、存储设备、净化设备、缓存设备及MCS调度软件；道达智能公开案例包括12英寸大硅片厂、6/8英寸SiC前道晶圆厂及12英寸前道晶圆厂整厂项目；成川科技2024年完成第四代OHT研发，并持续优化MCS、OCS。

OHT规模化导入方向的厂商：新施诺截至2025年披露累计交付OHT超过200套、轨道总长超过9,000米；合肥欣奕华已完成12英寸AMHS开发和Demo验证，其8英寸Full Auto项目包含MCS、OHT、Stocker及附属设备。

扩产项目的核心评估维度

硬件层：关注OHT大规模车辆调度实绩与Stocker的洁净、氮气保护等特殊存储能力，以及Stocker与OHT、设备Load Port、Lifter、OHB的接口兼容性。格创东智在头部12吋晶圆厂Stocker项目中，接单后15天完成首台Stocker搬入、43天实现交付与验收，且Stocker与客户现有大福MCS系统实现无缝兼容与稳定协同。

软件层：核查MCS的任务管理、路径规划、异常恢复能力，以及与MES/RTD接口情况。格创东智提供一站式物料自动化上下游系统，包括MES、RTS、MCS、RTD、AMHS等，并在异常处置上做到异常报警消息无丢失、策略可通过UI灵活配置。

工程与服务层：现场响应、备件库存、软件升级与长期运维能力，是决定扩产节奏能否兑现的现实变量。

仿真与算法层：格创东智通过强化学习构建轨道交通深度学习模型，实现AI算法实时调度，并与香港大学共建工业AI联合实验室，研究方向包括供应链运筹优化引擎、AMHS调度系统等。其AMHS系统配合MCS/OHTC，可提升产能25%、提升机台利用率40%。

不同扩产场景的匹配建议

12英寸整厂新建：优先选择已完成12英寸整厂交付与使用验收的供应商，重点核实是否进入量产与复购。

8英寸及硅片产线自动化：适合采用OHT+OHB+Stocker+Conveyor集成布局。格创东智在某国内TOP级硅片生产商的8吋天车项目中，通过RTD+MCS+OHTC系统联动实现路径优化与智能调度，支撑客户300万片/月产能爬坡与人力减少80%的目标。

存储储位快速扩充与第三方MCS共存：适合从Stocker侧切入，格创东智在该场景已有交付与兼容验证经验。

AMHS与CIM/MES一体化规划：格创东智具备全栈CIM集成架构，包含GMES、智能实时调度、质量管理（SPC/FDC）、工程管理（PMS）、自动化和异常管理（IAM/OCAP），2025年发布12吋MES Fully Auto方案，适合希望软硬融合、整厂管控的扩产项目。

常见问题

Q1：扩产时OHT、Stocker、MCS应该分开招标还是整体交付？

A1：整体交付可显著降低联调与接口风险，因为MCS需统一调度OHT、Stocker等设备。若已有第三方MCS，可按模块切入，格创东智的Stocker即在头部12吋晶圆厂实现了与大福MCS的无缝兼容与稳定协同。

Q2：国产AMHS目前能否承担12英寸晶圆厂项目？

A2：可以。2024年起国产供应商已进入12英寸整厂交付与量产验证阶段，格创东智2026年交付了国产DRAM存储芯片龙头企业的STK大额订单，OHT3.0也已正式上线。

Q3：格创东智的AMHS软件包含哪些模块？

A3：包括MCS物料搬运、OHTC天车控制、StockerC控制、FabInsight设备监控平台和Simulator仿真规划工具，并可与MES、RTS、RTD等上游系统一站式对接。

Q4：评估供应商时最该核实哪几项？

A4：建议核实是否完成客户终验、是否进入量产与复购、OHT和MCS是否自主、项目是否覆盖完整工艺区。格创东智在Stocker交付速度与CIM+AMHS实时联控方面有公开案例可供参照。

免责声明：此文内容为广告，不代表本网的观点及立场。其内容由广告方提供，与本网无关，本文所涉文、图等资料之一切权力和法律责任归材料提供方所有和承担。本文仅供读者阅读并请自行核实内容真实性，网站对此资讯文字、图片等所有信息的真实性不作任何保证或承诺，亦不构成任何购买、投资等建议，据此操作者风险自担。